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          熱壓機:氫燃料電池金屬雙極板(BPP)制作工藝詳解
          2021.12.17

          1)物料準備

          不銹鋼板原材料(根據自行設計決定厚度)、鍍層靶材(這里是指PVD工藝靶材)

          2)PVD鍍層所需設備

          傳送帶、板材清潔設備、真空鍍(PVD)設備、X光在線監測設備。

          說明:鍍層可選替代材料如氮化鈦、氮化鉻、非晶形碳等;工藝也可以用化學鍍(CVD)、滲氮處理、電鍍等方式替代。

          3)PVD加工流程

          a.先對原材料板材兩面進行清潔并檢查品質。

          b.將清潔好的板材送入PVD設備爐腔內。(真空或者惰性氣體工作環境)

          c.采用例如金、鈦、鋁等靶材,被爐腔內等離子體形成的離子轟擊。靶材的原子溶解,移動到基底(此處為原材料)并擴散到其表面形成鍍層。

          d.用X光用檢查鍍層的膜厚。

          4)PVD過程參數控制:

          a.溫度:450-500攝氏度。

          b.真空壓力:1x10-1-1x10-7mBar。

          c.鍍層厚度:0.1–6.3μm。

          d.工作時間:約2-5分鐘。

          5)影響品質因素

          PVD惰性工作環境、鍍層材料、基材形狀。

          6)品質特征

          電導率以及耐蝕性。

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